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    本文利用一种新型线形微波等离子源以CH4和H2为反应气体在杆状氧化铍陶瓷表面进行金刚石膜沉积,研究了基底预处理对金刚石形核密度和膜的连续性,以及基底温度对金刚石膜表面形貌和质量的影响。

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