微型化原子磁力仪灵敏度上限的原子气室尺寸依赖性分析

本文通过分析原子磁力仪的工作原理，对碱金属原子在原子气室中的自旋弛豫过程进行了深入分析，并通过理论计算探究了气室尺寸对原子磁力仪灵敏度上限的影响规律，为微型化原子磁力仪的优化设计提供理论依据。

提高含硅纳米晶LED亮度的方法研究

本文研究了Si-nc浓度、衬底材料的电阻率、Si-nc与不同基体之间的界面势垒、场效应、电致表面等离子体等方法对硅纳米晶的电致发光强度的影响。

硬质涂层的发展、现状及未来

未来随着工业需求的不断增加，对硬质涂层的要求也将愈发严格。未来的涂层将有两大趋势：超硬涂层和低摩擦系数涂层。

真空技术在海水淡化领域的应用现状与发展趋势

本文主要综述真空技术在海水淡化领域里的应用、现状和发展方向，讨论大规模从海水生产淡水的有关问题。

真空过滤设备操作安全注意事项

本文列举了真空过滤设备操作安全注意事项。

环氧底漆表面合成超疏水涂层减阻性能研究

本文采用大气压冷弧等离子体射流在防腐涂料表面上沉积超疏水涂层，研究了超疏水涂层的表面润湿性、物理形貌及化学成分的变化，并利用差压流阻测试装置对比了等离子沉积超疏水涂层前后的减阻效果，分析了其减阻机理。

晶硅良好表面钝化技术及其在n型电池中的应用

本文旨在分析与综述近年来常用的电池钝化技术机理，各种钝化薄膜制备、性质与电池中应用情况，介绍快速发展的典型n 型电池结构及钝化技术在其中的应用，为下一步快速发展的电池钝化技术提供思考与借鉴。

AuPdPt-WC/C复合材料作为直接甲醇燃料电池阴极催化剂的性能研究

本实验以碳化钨(WC)增强的AuPdPt-WC/C复合催化剂作为直接甲醇燃料电池(DMFC)的阴极催化剂，选取了各组元比例，温度为变量，测试了其作为DMFC 催化剂的性能。

纳米压印连续脱模与分段脱模数值模拟研究

纳米压印脱模过程中模板和胶层根部应力集中现象可能会导致光刻胶成型破损，这是影响压印质量好坏的主要原因之一。本文进行了连续脱模和分段脱模脱模过程数值模拟，获得了脱模过程中的有效应力分布和变化。

基于等离子体氧化技术的医用钛材料亲水性表面制备研究

本文采用喷砂酸蚀(Sandblasting and acidetching，SLA)处理后的钛试样进行等离子体氧化的优化。选择不同的工艺参数进行试验，在试验范围内，得出最优的工艺参数，并分析优化后的钛试样表面的成分、价态以及接触角。

直线等离子体装置中氩等离子体热负荷特性研究

为了了解装置中等离子体所携带的热负荷特性，本文通过测量不同输出功率下氩等离子体在不同磁场、不同流量时的热负荷，研究了氩等离子体的热负荷特性，详细介绍了磁场、气体流量和输出功率对氩等离子体热负荷的影响，

刻蚀机装备设计中的序贯试验设计方法研究

450mm晶圆刻蚀机开发中大量应用确定性仿真来模拟腔室内部物理、化学环境，并通过仿真结果指导装备结构的详细设计。为控制仿真试验的采样规模以缩短开发周期，本文详细介绍一种新型的基于采样密度和非线性度的序贯设

低温多效海水淡化用蒸汽喷射器的优化设计

提高蒸汽喷射器性能，能够降低低温多效海水淡化系统能耗，采用理论推导和数值模拟相结合的方法对喷射器性能进行研究。在喷射器索科洛夫设计方法的基础上，修正了喷射器最大可达喷射系数的计算模型。

工作气压对多脉冲鞘层动力学行为的影响

电子束快速成型机聚焦及偏扫系统的工程实现

阐述了电子束快速成型机聚焦及偏扫系统在工程上所遇到的几个问题及解决方法。本文介绍电子束快速成型机聚焦及偏扫系统几个工程问题的解决方法。

电感耦合放电对双频容性耦合Ar-N2等离子体物理特性的影响

本文使用电感耦合增强的双频容性等离子体化学气相沉积系统，采用不同频率组合放电产生等离子体，探索产生高密度均匀等离子体的条件。

ICP刻蚀4H-SiC栅槽工艺研究

为避免金属掩膜易引起的微掩膜，本文采用SiO2作为掩膜，详细研究了不同工艺参数包括ICP功率、RF偏压功率、压强、氧气含量等对SiC槽栅区域的刻蚀速率、SiC与SiO2的刻蚀选择比、刻蚀形貌的影响。

真空技术在电装工艺中的应用

真空技术在电装工艺中的应用，主要是真空灌封、真空浸漆和真空涂覆等几个方面。

真空水力输送管道的数值模拟研究

分析了不同类型真空排水系统水力输送的研究重点。讨论了真空水力输送管道的流动形态及其非恒定流问题。介绍了一种用于真空水力输送管道模拟的气液双流体模型。

SIMS溅射深度剖析的定量分析

本文综述了二次离子质谱(Secondary Ion Mass Spectroscopy，SIMS)溅射深度剖析的发展历史，介绍了SIMS 溅射深度剖析的定量分析方法。