基于PLC的PECVD温度控制系统设计

基于PLC的PECVD温度控制系统设计

游锦山 陈长琦 汪根生 林 胜

(合肥工业大学 合肥 230009)

　　摘要： PECVD 温度控制系统的精确性和稳定性对获得结构稳定和性能优良的半导体薄膜材料非常重要。本文基于西门子S7-300 可编程控制器(PLC)为控制核心，搭配触摸屏为人机交换界面(HMI)，论述了PECVD 温度控制系统的设计。PLC 与HMI 基于MPI协议实现通信功能，采用WinCC flexible 组态友好的控制界面，完成数据输入/输出、参数修改、实时监控和报警联锁。

　　以STEP 7 为程序设计平台，在定时中断组织模块(OB35)中循环调用标准温度功能块(FB58)编程实现对温度的PID 闭环控制,扩展PLC 模拟量输入模块SM331 对热电阻标准模拟信号实现A/D 转换，结合FB58 集成的脉宽调制输出功能，将PID 运算结果转换成脉冲占空比控制固态继电器执行加热动作。

　　该系统提高了PECVD 温度控制的自动化水平，并有效缩短控制回路的调节时间，减小超调量，确保了温度的准确控制和系统的稳定运行。

　　关键字：PECVD PLC HMI 温度控制