弧源电流对TiN薄膜硬度的影响

　　高的硬度对于TiN 薄膜具有重要作用，高的硬度将对应着好的耐磨性。弧源电流对薄膜的硬度影响较大。图6 是不同弧源电流强度下所得到的TiN 薄膜的硬度变化规律。由图可见，TiN 薄膜的硬度随弧源电流的增大而增大，在弧源电流大于80 A 制备的TiN 薄膜硬度超过HV2000。

图6 TiN 薄膜硬度与弧源电流的关系

　　基体温度影响薄膜的生长结构，从而影响薄膜的性能。温度较低时，薄膜的结构为较粗大的柱状晶结构，这种结构相当粗糙，致密度较低，孔洞缺陷多，因而薄膜的硬度低；随弧源电流的升高，基体温度也升高，沉积原子在基体上的扩散加快，使薄膜从结构较疏松的粗大柱状晶结构向较致密细小的柱状晶结构转变，同时晶粒变得细小，使薄膜得到晶界强化，因而薄膜的硬度提高。

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　　不同弧源电流TiN薄膜的表面形貌及其摩擦学性能研究

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