直流磁过滤电弧源沉积氧化铝薄膜的研究

　　直流磁过滤电弧源沉积氧化铝薄膜的研究

　　弥谦，王昆，刘哲

　西安工业大学 陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室

　　摘要：采用直流磁过滤电弧源技术制备氧化铝薄膜，研究分析了薄膜制备中氧气分量和阴极靶电流分别对薄膜折射率n、沉积速率和消光系数的影响；采用椭偏法对所制备薄膜的光学常数进行测试，沉积速率则通过薄膜厚度与沉积时间的计算得到。

　　实验结果表明：薄膜折射率n、沉积速率和消光系数均随着氧气分量的增加而降低，而随着阴极靶电流的升高而增加；分析主要是因为随着氧气分量和阴极靶电流的变化，基底表面铝原子和氧气比例发生变化，影响薄膜的相关性能。

　　关键词：电弧源；氧化铝；氧气分量；阴极靶电流