具备光吸收增强效应的银纳米颗粒层的制备及性能研究

　　薄膜太阳能电池作为一种太阳能电池的改进，降低了太阳能吸收层的厚度，从而降低了生产的材料成本，但这种优势被较低的光吸收效率所抵偿，所以必须采取一定的陷光措施，其中金属纳米颗粒作为一种陷光结构被广泛应用于薄膜太阳能电池的光吸收增强中。

　　目前制备薄膜电池表面的金属纳米颗粒的方法主要有，掩膜法，电子束刻蚀，纳米压印技术和热蒸发退火法，前三种方法制备出的金属纳米颗粒阵列的大小和分布相对均匀但制备步骤复杂而且费用较贵，不适宜大规模生产;热蒸发退火法是利用热蒸发法在洁净基底上镀上一层几十纳米厚度的金属膜，然后再保护气体(如氮气)的环境下退火一段时间，由于基底材料和金属膜材料之间的受热之后的应变力不同，表面张力使得金属薄膜裂解成纳米颗粒，所以制备的阵列的颗粒大小分布相对较差，但成本较低，制备简单，适合大规模生产。

　　针对目前对热蒸发退火生长参数方面没有系统方面的研究，本文利用热蒸发退火的方法制备Ag 纳米颗粒，通过扫描电子显微镜，观察在洁净硅片表面热蒸发制备出的薄膜厚度和退火得到的纳米颗粒阵列的分布情况，来系统研究退火时间和退火温度对纳米阵列的大小分布的影响，从而优化生长参数，以制备出大小可控，分布均匀的Ag 纳米阵列。从而可以以较低生产成本制备出性能优良的金属纳米阵列用于太阳能表面的光吸收增强。