氧化锌(ZnO)薄膜的性能分析(3)

2009-05-29 赵印中兰州物理研究所表面工程技术国家级重点实验室

目前，国内外已有多种制备p 型掺杂ZnO 薄膜的方法。不同生长工艺以及利用多种掺杂物都成功地获得了p 型ZnO 薄膜，有些研究组已经制得了基于ZnO 的同质结以及实现了p-n 结的光发射。图7 为双层结构的ZnO 同质p-n 结的I-V 特性图。

4、氧化锌(ZnO)薄膜的气敏特性

ZnO 是应用最早的一种半导体气敏材料，属于表面控制型气敏材料。它的物理化学性质稳定，在1 800 ℃才有升华现象，可在较高温度下工作。ZnO 薄膜有着对乙醇气体灵敏度比较高的优点，但也存在着对敏感气体选择性差的缺点。例如，对汽油、天然气以及某些有机物蒸气（如氨水,甲醛等）都有比较强的敏感性，而这些气体对乙醇气体的检测造成了比较大的妨碍，甚至造成气体传感器工作失灵。因而，为了提高ZnO 的气敏性能，常掺入一些掺杂剂。在ZnO 中掺杂Pt、TiO2 等物质可以获得很高的乙醇气体检测灵敏度和很好的选择性。对ZnO 薄膜进行TiO2 掺杂，制得的气敏传感器对乙醇气体灵敏度高、选择性好，且响应、恢复时间也比较短（图8）。