非平衡磁控溅射沉积TiN/Ti-O复合薄膜机械性能研究

　　摘　要：本文利用非平衡磁控溅射设备,采用四种不同的TiN到Ti-O的过渡方式,在Si(100)和Ti6A14V基体上制备了TiN/Ti-O薄膜.采用X射线衍射(XRD)分析薄膜的结构;使用AMBIOSXP-2台阶仪检测薄膜应力;利用XDl000B knoop型显微硬度仪、瑞士CSEM销盘摩擦磨损实验机、WS-97系统划痕实验机对薄膜的力学性能进行检测.结果表明,在钛合金表面制备TiN薄膜后,逐渐降低N2流量至0 sccm,沉积一层Ti膜,再用逐渐通入O2制备Ti-O薄膜的工艺制备的TiN/Ti-N/Ti/Ti-O薄膜具有较好的力学性能.

　　关键词：TiN/Ti-O复合薄膜;非平衡磁控溅射;耐磨性;膜基结合力

　　分类号：TB34　文献标识码：A

　　文章编号：1672-7126(2008)增刊-047-05

Mechanical Properties of TiN/Ti-O Composite Films Grown by Unbalanced Magnetron Sputtering

He Chan　 Qi Feng　 Leng Yongxiang　 Huang Nan