TiC薄膜的性能研究

　　摘　要：采用磁过滤直流电弧离子镀法在不同的CH4分压下制备了一系列的TiC薄膜,利用XRD和EDX表征了薄膜的相组成和微结构,用MCMS-1摩擦磨损测试仪,研究了不同CH4分压对薄膜摩擦性能的影响,采用DURAMIN-10型丹麦全自动显微硬度仪,研究不同CH4分压对薄膜硬度的影响.结果表明,不同CH4分压对薄膜的相组成、微结构和力学性能均有明显的影响,高的CH4分压下,薄膜的摩擦系数较低,CH4分压提高到0.15 Pa左右,薄膜内形成晶粒细小的单相TiC,进一步提高CH4分压,薄膜呈现非晶态.

　　关键词：TiC薄膜;脉冲真空电弧离子镀;微结构;力学性能

　　分类号：O484.4　文献标识码：A

　　文章编号：1672-7126(2008)增刊-056-04

Growth and Mechanical Properties of TiC Coatings

Shao Xiao　 Zhu Chang　 Liang Haifeng