真空镀膜机膜厚监控的方法

真空镀膜机的操作系统中，最关键最直接的部份首推膜厚监控系统。而当今各厂家所使用的镀膜机监控系统据吾个人所知，不外以下三种；

一、微电脑数控式：利用微电脑设定来控制膜料的输出功率与输出量。此方法操作起来最为简捷明了所镀的膜厚也最为均匀。缺点：无法测得真实的膜厚记录，故此方法一般仅用于溅镀机。

二,水晶振动子式：一般采用二个或更多(以备不测)，用此方法所测得结果较准确。但因其本身非常敏感，故极易受外界因素影响。

三,光电式：一般采用蓝光玻璃。因其本身一块即可分成几部份使用，故一般只备用一个玻璃槽即可。用此方法测得结果较为稳定。

不过现在好象又有一种新的监控系统，是利用数控与光电相结合式的，相信其会给我们带来更为准确便捷直观的一种新的革命。