GB/T 18193-2000 真空技术 质谱检漏仪校准
GB/T 18193—2000 真空技术 质谱检漏仪校准
Vacuum technology一Mass-spectrometer-type leak detector calibration
GB/T 18193—2000 真空技术 质谱检漏仪校准等同采用ISO 3530:1979《真空技术质谱检漏仪校准》，在技术内容上与该国际标准等效。但是考虑到我国标准本身的特点及汉语的表述习惯，使该标准既与国际标准接轨，又适合我国的国情，为此，对ISO 3530:1979标准的个别内容作了编辑性修改。
GB/T 18193—2000 真空技术 质谱检漏仪校准规定了质谱检漏仪校准的使用程序，即测定质谱检漏仪灵敏度。但该程序需要使用的一个校准漏孔和一种标准的气体混合物，不在这个标准的范围内。质谱检漏仪以下简称“检漏仪”。检漏仪用于机械孔(如针孔)的漏量和通过许多聚合材料而发生的漏气的探测。那些表面解吸、气化和气穴的虚漏，一般不能用检漏仪探测。
漏率校准范围限制在一个规定的水平，因为对于较大泄漏这个因素是不重要的，而对于漏率小于10-,z Pa " m' " s-，的泄漏，这个因素就变得重要了。检漏仪检验的对象可以在高真空条件下或者高于大气压下。一般在两种情况下检漏技术将不同。在第一种情况下，检漏仪通常在接近它的低的极限压力下进行工作;在第二种情况下，检漏仪常被使用在其最大或接近最大工作压力。对应于这两个工作条件，两个灵敏度术语定为:“最小可检漏率”和“最小可检浓度比”(见本标准第2章)。
这样定义的两个量是有关系的，但是，从一个数据去算得另一个数据不可行。因此规定了测定两者的方法。
GB/T 18193—2000质谱检漏仪校准标准用在真空技术领域中是一系列泄漏试验程序和装置标准之一。应用分类:气密性、检漏仪校准、漏孔的校准、气体混合物、检漏仪验收规范和真空设备的气密检验的一般程序。
上述应用分类中的一些项构成将来标准的课题。
范围
本标准规定了质谱检漏仪的校准程序它仅适用于校准将灵敏元件处于高真空系统中的检漏仪。因此这个方法没有制订完整的验收试验。
本标准规定探索气体使用氦一4。但在适当的预防措施下，可以使用其他探索气体，如氢-400
本标准的应用受到检漏仪不能测定小于10-" Pa "m'"s-'漏率漏孔限制。
本标准程序提出了测定最小可检漏率和最小可检浓度比的两个要点。它分别应用于高真空和压力大于一个大气压的检漏仪上。
定义
本标准采用下列定义。
2.1本底(或残余信号)background(or residual signal)
2.1.1本底background
没有注人探索气体时，检漏仪给出的总的假象指示(本底发生在质谱管中或在电极电子系统中或同时发生在两者中。由于离子不同于注人探索气体所产生的离子，所以该术语习惯称为指示)。
2.1.2 漂移drift
本底较缓慢的改变。有效的参量是在规定的期间内测得的最大漂移。
2.1.3 噪声noise
本底比较快地改变。有效的参量是在规定的期间内测得的噪声。
2. 1.4 氦本底helium background
由检漏仪壁或检漏系统释放出氦所造成的本底。
2. 2 元件components
2.2. 1 人CI管路或试样人口管路inlet line or sample inlet line
探索气体从试验件流到检漏仪经过的管路
2.2.2 人口阀inlet valve
连接试样与检漏仪的阀门(见图1)，它是检漏仪的主要部件。
2. 2. 3 漏孔隔离阀leak isolation valve
安装在试验检漏仪所用的漏孔和试样人口管路之间的阀门(见图1)0
2. 2.4 抽气阀pump valve
安装在抽空试样人口管路使用的粗抽泵和管路之间的阀(见图1),
2.2. 5 放气 vent valve
用来引进空气或其他气体进人抽空的空问·以使那里压力增加到大气压的一个阀门(见图1)0
2.2. 6 补偿控制:调零控制backing-off control, zero control
检漏仪中的一种电控制，它可以改变仪表的输出指示。当补偿控制用于使输出指示返回到刻度盘的零时也可称为调零控制。
2.2.7 质谱管mass spectrometer tube
它是检漏仪的一个元件，探索气体在质谱管内被电离并被测定。
2.2.8 阴极filament
安装在质谱管内用于电离气体的(热的)电子源。
2.3探索气体search gas
在真空测试中，作用在被检设备外表面通过漏孔进人设备或在高于一个大气压测试中，充人被检设备后通过漏孔逸出而进行探测的气体。
2.4 漏孔leaks
2.4.1 漏孔leak
在真空技术中是一个孔洞、孔隙、渗透因素或一个封闭器壁上的其他结构在压力或浓度差作用下，使气体从器壁的一侧到另一侧。也可以是一个可用于向真空系统引人气体的装置。
2.4.2 通道漏孔channel leak
可以把它理想地当做长毛细管的一个或多个不连续通道组成的漏孔。
2.4.3薄膜漏孔membrane leak
允许气流通过或渗透穿过无孔壁的一种漏孔。对于氦，这种壁可以是玻璃、石英或其他适合的材料。
