不同锥角的电极结构下真空沿面放电等离子体的生成特性分析

　　本实验分别讨论了采用三种不同锥角的电极下真空沿面放电时等离子体的生成特性。采用朗缪尔探针法对真空内沿面放电产生的等离子体参数进行测量。图9 为实验过程中探针P1在探针偏压为5V 时测得的电子电流波形图。其中深红色线代表电子电流，紫色线代表真空沿面放电时的光照强度。不断改变探针电压，记录每一个探针电压下产生的电子电流波形的峰值，绘制V- I 特性曲线，并求得等离子体的参数如下表1 所示。

图9 探针法实测的电子电流波形

　　由表1 可以看出：首先，电极锥角越小，击穿电压越小，也就是说，锥角越小的电极越容易发生沿面放电。其次，锥角为60°的电极放电时得到主放电电流最大，测得的等离子体密度也最大;锥角为120°电极时主放电电流最小，测得的等离子体密度也最小。

　　表1 三种不同锥角电极的等离子生成特性参数

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　　电极锥角对真空沿面放电等离子体生成特性的影响