各种真空泵的工作范围

2013-04-29 巴德纯 东北大学

真空获得的方法可分成以下三类。

　　(1)利用机械力的真空泵;

　　(2)利用蒸汽喷射的真空泵;

　　(3)利用表面现象的真空泵。

　　这些泵的工作范围如图1所示。

各种真空泵的工作范围

图1 各种真空泵的工作范围

　　各种泵可能达到的压力和抽速是组成真空系统所必须的。

　　另外，欲获得高的真空度，适当的使用多台泵是必要的。

　　超高真空状态的实现单用泵来抽是不行的，表面吸附的气体要烘烤除气或放电情况是必要的。

　　极高真空的获得要使用低温泵，对于真空容器的材料的选择和内壁的处理是必不可少的。