直流磁控溅射辉光等离子体的Langmuir静电探针诊断

2020-04-18 真空技术网 真空科学与技术学报

　　摘　要：与大连理工大学合作研制了新型Langmuir静电探针.应用研制的静电探针,对氩气直流磁控溅射铜等离子体进行了轴向和径向二维空间内的诊断.诊断结果显示:电子温度随着离靶面距离增大而递减;电子密度在径向和轴向均存在波动;电子能量主要分布在0 eV～5 eV范围内,高能电子占比例极少.

　　关键词：直流磁控溅射;Langmuir静电探针;等离子体;诊断

　　分类号：TN305.8　文献标识码：A

　　文章编号：1672-7126(2008)增刊-079-04

Langmuir Probe Diagnosis of DC Magnetron Sputtering Glow Discharge Plasma

Wen Peigang　 Yan Yue　 Wang Yonglin　 Wu Jianhua　 Zhang Guanli　 Zhang Dingguo　 Lu Wenqi　 Dong Chuang　 Xu Jun