ASM181T氦质谱检漏仪的日常维护

2009-04-18 刘朝晖阿尔卡特

1、机械泵维护

（1）每月检查机械泵油位，如果油位低于或快接近油位下限时，须添加机械泵油；如果油呈棕色、褐色，或闻起来有异味，说明油已变质。应将油放尽后，暂时将放油塞拧上，让泵在进气口打开的状态下运转约10s，将留在机械泵循环通路中的油也放出，再拧开放油塞，放出残留的油。必要时，先用新油冲洗一遍，再加入新油。

（2）每3 个月更换机械泵油。检查油雾过滤器，若被油浸透，应更换。

2、离子源维护

在对离子源作维护之前，必须将检漏仪的主电源插头拔下。

（1）拆卸VHS放大器。将VHS放大器和离子源的电源接头卸下，用内六角扳子拧下两个紧固螺钉，拆下VHS 放大器，将VHS 放大器头朝下，放置在清洁处，注意防尘。

（2）清洗离子源底座。拧下6个螺钉，然后小心地把底座法兰垂直地提起来，接着用酒精清洗密封面。完成以上工作后，立即用密封圈专用模具将离子源开口盖住。

（3）取下灯丝。拆下3 个紧固螺钉，取下灯丝。

（4）拆下收集极。只要将两个紧固螺钉取下即可。

（5）换新灯丝和收集极。先将收集极用两个紧固螺钉固定在离子源座上（不要将螺钉拧紧）。接着将新灯丝的两个接头插入接线柱内，此时不要拧紧两个连接螺钉。

（6）部件的调整。灯丝织支撑架的两个安装面和其支撑座两个安装面紧贴上，拧紧紧固螺钉。调节收集极，使灯丝在左右方向位于收集极的中心（收集极开口两边应有同样的圈数） ;继续调整收集极，使灯丝在垂直方向平行于收集极的开口，且处于开口的中央。拧紧收集极的两个紧固螺钉。拧紧灯丝的两个连接螺钉。

（7）安装离子源和VHS放大器。仔细检查离子源的导向块上不要粘有其他物体，小心地将导向块慢慢地放入质谱室腔中，均匀拧紧6个螺钉即可。将VHS放大器仔细放在密封面上，均匀拧紧两个螺钉。最后，将VHS放大器和离子源的电线连接好。VHS 放大器、离子源等部件，对任何形式的污染及灰尘都十分敏感，在维护过程中必须特别注意。