校准气体漏率的正压漏孔校准装置结构组成

2009-07-08 张涤新兰州物理研究所

　　在航天产品研制和生产中，正压检漏技术已被广泛地采用，最常用的是皂泡法和水泡法。由于对正压检漏的可靠性提出了更高的要求，需采用质谱检漏技术，因此要用正压漏孔对质谱检漏仪进行标定，从而提出了正压漏孔的校准问题。

　　国内外对真空漏孔（漏孔的一端为大气压，另一端为真空）的校准技术研究得比较成熟，已经研制了多种测量原理的校准装置，并在不同校准装置间进行了比对研究。对于正压漏孔的校准，因为受到正压检漏定量性差和校准条件比较苛刻的限制，研究工作只是刚刚开始。

　　通过对各种真空漏孔和正压漏孔校准方法的比较和分析，提出了正压漏孔的校准方法，并利用已建的气体微流量标准装置和现有的仪器设备，对正压漏孔的校准方法进行了实验研究。在大量理论分析和实验研究的基础上，研制了正压漏孔校准装置。

正压漏孔的校准装置

　　正压漏孔是在给定温度和入口压力的条件下，正压漏孔校准装置由定容法校准系统和定量气体动态比较法校准系统两部分组成，如图1 所示。

　　图中，1，2 为气瓶；3,4,7,11,15,19,21为截上阀；5为待校漏孔；6，8，13为绝对式电容规；9为三通阀；10为标准容积；12为定容室I;14为差压式电容规；16为针阀，12为定容室Ⅰ"；14为差压式电容规；16为针阀，17为定容室Ⅱ；18，28为插板阀；20为小孔；22,26为冷阴极规，23为四极质谱计；24为质谱分析室；25为限流孔；27为抽气室；29为溅射离子泵；30，31，33为分子泵；32，34 为机械泵。