真空检漏法的检漏方法介绍
2008-09-24 真空技术网 真空技术培训讲座
| 检漏方法 | 工作压力[Pa] | 现 象 | 设 备 | 最小可检漏率[Pam3／s] | |
| 静态升压法 | 抽真空后封闭，压力上升 | 真空计 | 10-5～10-6 | ||
| 放电管法 | 放电颜色改变 | 放电管 | 10-3～10-4 | ||
| 高频火花检漏器法 | 103～10-1 | 亮点，放电颜色改变 | 高频火花检漏器 | 10-3～10-4 | |
| 真 空 计 法 |
热传导真空计法 | 103～10-1 | 施用示漏物质真空 计读数变化 |
热偶或电阻真空计 | 10-6 |
| 电离真空计法 | 10-2～10-6 | 电离真空计 | 10-9 | ||
| 差动热传导真空计法 | 103～10-1 | 热传导真空计差动组合 | 10-7 | ||
| 差动电离真空计法 | 10-2～10-6 | 电离真空计差动组合 | 10-10 | ||
| 有吸附阱的热传导真空计法 | 103～10-3 | 液氮冷却活性炭阱， 热传导计 |
10-7 | ||
| 有吸附阱的电离真空计法 | 10-2～10-6 | 液氮冷却硅胶阱， 冷阴极电离计 |
10-11～10-13 | ||
| 氢钯法 | 7×101～10-5 | 氢气通过钯管进入 真空规，读数变化 |
钯管，电离计 | 10-7～10-11 | |
| 离子泵检漏法 | 10-5～10-7 | 示漏物质使离子流变化 | 离子泵 | 10-9～10-12 | |
| 卤素检漏仪内探头法 | 10～10-1 | 输出仪表读数变化 | 卤素检漏仪 | 10-7～10-9 | |
| 氯质谱检漏仪法 | 10-2 | 输出仪表读数及 声响频率变化 |
氦质谱检漏仪 | 10-12～10-14 | |
| 质 谱 计 法 |
射频质谱计法 | 10-2～10-4 | 施用示漏物质输出 仪表读数变化 |
射频质谱计 | 10-6～10-11 |
| 回旋质谱计法 | 10-3～10-7 | 回旋质谱计 | 10-7～10-12 | ||
| 四极滤质器 | 10-1～10-4 | 四极滤质器 | 10-10～10-11 | ||
