常用的标准漏孔的两种校准方法

    定容升压法校准系统示意图如图12所示。

图12：定容升压法校准标准漏孔系统示意图

       经预抽并烘烤容积V后，标准漏孔进气端压力p₁＜1.33×10³Pa，而V达到极限真空。当压力为1.01×10⁵Pa的校准气体（例如N₂气）经标准漏孔流进容积V，并在V中压力p₂稳定后，关闭阀门S₂记录时间和环境温度T，测出对应Δt时间的升压Δp₂则标准漏孔的漏率为式（10）。

    氦质谱检漏仪比较法校准系统如图13所示。

图13：氦质谱检漏仪的比较法校准标准漏孔示意图

在检漏仪工作条件不变的前提下，先后测出已知漏孔L₁和待校漏孔L₂的进气氦压和讯号，则待校标准漏孔的漏率为式（11）。式中，q_L，01-已知标准漏孔L₁的漏率；p₁，p₂-分别为L₁、L₂漏孔进气端氦压；I₁，I₂-分别为L₁，L₂漏孔的输出讯号；I₀-检漏仪本底。