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氦质谱检漏仪工作原理与结构和性能试验方法
本文讲叙了单级磁偏转型氦质谱检漏仪、双级串联磁偏转型氦质谱检漏仪以及逆流氦质谱检漏仪的工作原理。灵敏度、反应时间、清除时间、工作真空度、极限真空度及仪器入口处抽速是评价氦质谱检漏仪的主要性能指标。
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如何有效的降低真空系统漏气率的措施
在真空系统的设计中,提高系统的密封性,降低系统的漏气率是我们一直追求的目标,经过对真空室内部结构、密封形式、密封件材质、静密封结构等方面的精心选择与设计,提高了真空系统的密封性能,加快了抽气速度,缩短
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利用静态膨胀法真空装置和质谱计校准标准漏孔
本文介绍了利用静态膨胀法真空装置和残余气体四极质谱计校准标准漏孔的方法,通过实验验证了该方法的可行性,并给出了该装置测量范围(10-5~10-7)Pa.m3/s,装置的最佳校准能力小于3.0%(k=2)。
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各种充压检漏法和最小可检漏率
真空检漏就是用适当的方法,迅速判断漏气、确定漏率是否在容许的范围之内,找出漏孔的位置、测定漏率大小,以便进行修补下面就充压检漏法的条件、现象、所用设备及其灵敏度进行了介绍。
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卤素检漏仪的工作原理和性能测试方法
用含有卤素(氟、氯、溴、碘)的气体为示漏气体的检漏仪器称为卤素检漏仪,卤素检漏仪主要有固定式卤素检漏仪和便携式卤素检漏仪。本文介绍了卤素检漏仪的工作原理与结构及性能测试方法。
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漏孔、漏率及其表征单位和气流特性
真空技术中所指的漏孔,由于尺寸微小、形状复杂、形式多样,无法用几何尺寸表示其大小。所以一般用等效流导或漏气速率表示漏孔的大小。系统的最大容许漏率要满足要求才能正常使用。
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