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真空发生器的工作原理是利用喷管高速喷射压缩空气，在喷管出口形
清洁真空获得设备已经发展到冷凝泵、住赛泵、爪式泵、涡旋泵以及
随着疫情的控制，2021年国际泵业市场实现复苏，基本上所有企业都实现增长。
往复式真空泵的主要部件有气缸及在其中做往复直线运动的活塞，活塞的驱动是用曲柄连杆机构来完成的。往复式真空泵的主要缺点是结构复杂，体积较大，运转时振动较
旋片泵主要由泵体、转子、旋片、端盖、弹簧等组成，旋片泵有单级和双级两种。所谓双级，就是在结构上将两个单级泵串联起来。一般多做成双级的，以获得较高的真空
本文介绍了低温冷凝泵的理论抽速、低温冷凝泵的实际抽速、低温冷凝泵的极限压强、低温泵的降温时间、低温泵的工作寿命等关于低温泵的抽气特性计算公式。
利用低温表面上的吸附剂和打在其上的气体分子发生吸附而达到抽气作用的泵叫低温吸附泵。根据所用吸附剂不同，又可分为三种类型： 非金属吸附剂泵、金属吸附剂泵
蔀射离子泵的抽气特性如溅射离子泵的极限压强、溅射离子泵的抽速、溅射离子泵在抽除惰性气体氩不稳定性、溅射离子泵对有机蒸气污染敏感等等。
溅射离子泵又称潘宁泵，它是靠潘宁放电维持抽气的一种无油清洁超高真空泵。是目前抽惰性气体较好的真空获得设备。溅射离子泵主要由阳极、阴极、磁场和电源四大部
钛升华泵的极限压强：可达10-10Pa。钛升华泵的抽速较大，抽速可以计算。
钛升华泵的结构大致可分为三部分：吸气面、热丝(或升华器)和控制器。本文主要讲叙了升华器的几种类型结构。
利用加热的方法升华钛并使其沉积在一个冷却的表面上，对气体进行薄膜吸附的抽气装置，称为钛升华泵。
