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气体捕集真空泵

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本文介绍了国内集成电路制造中进口低温泵产品的技术发展现状，并对比了不同产品的技术特点。阐述了国产低温泵进军集成电路制造业的历程与现状。

集成电路制造中低温泵的应用及产品发展现状

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低温冷凝泵的抽气特性

本文介绍了低温冷凝泵的理论抽速、低温冷凝泵的实际抽速、低温冷凝泵的极限压强、低温泵的降温时间、低温泵的工作寿命等关于低温泵的抽气特性计算公式。
低温泵的抽气原理与分类与结构

利用低温表面上的吸附剂和打在其上的气体分子发生吸附而达到抽气作用的泵叫低温吸附泵。根据所用吸附剂不同，又可分为三种类型：非金属吸附剂泵、金属吸附剂泵、气体霜。
溅射离子泵的抽气特性

蔀射离子泵的抽气特性如溅射离子泵的极限压强、溅射离子泵的抽速、溅射离子泵在抽除惰性气体氩不稳定性、溅射离子泵对有机蒸气污染敏感等等。
溅射离子泵的结构及其抽气机理

溅射离子泵又称潘宁泵，它是靠潘宁放电维持抽气的一种无油清洁超高真空泵。是目前抽惰性气体较好的真空获得设备。溅射离子泵主要由阳极、阴极、磁场和电源四大部分组成。
钛升华泵的极限压强与抽速

钛升华泵的极限压强：可达10-10Pa。钛升华泵的抽速较大，抽速可以计算。
钛升华泵的主要几种结构

钛升华泵的结构大致可分为三部分：吸气面、热丝(或升华器)和控制器。本文主要讲叙了升华器的几种类型结构。
钛升华泵的工作原理

利用加热的方法升华钛并使其沉积在一个冷却的表面上，对气体进行薄膜吸附的抽气装置，称为钛升华泵。
分子筛吸附泵的抽气特性

分子筛吸附泵的极限压强：一般为10-2～10-3Pa，吸附泵的抽速计算公式，由此可以看出分子筛吸附泵的抽气特性。
分子筛吸附泵的结构

分子筛吸附泵是利用分子筛在低温下能大量吸气、在高温下又能将吸附的气体释放出来的性质而设计的一种真空泵。分子筛吸附泵的结构类型：按冷却方式不同，可分为内冷式和外冷式。
分子筛吸附泵的结构及其抽气原理

分子筛是一种人工合成的沸石，分子筛对气体的吸附是物理吸附，过程是可逆的。低温下吸附的气体在温度回升时将如数地释放出来。
气体捕集式真空泵的几种类型

气体捕集式真空泵是一种使气体分子被吸附或凝结在泵内表面上的真空泵，可分吸附泵、吸气剂泵、吸气剂离子泵、低温泵几种类型。
钛泵和溅射离子泵的工作原理

钛泵是真空泵的一种, 但它不同于普通的压缩型泵。钛泵没有转动机构, 也不使用真空泵油,它采用俘获气体分子的方式除气, 能得到清洁的高真空。
冷阱的基本结构

冷阱的基本类型属于中心带障板的冷阱, 其优点是捕油性能好, 既能挡住一次束流, 又能防止油分子的爬移, 在内胆和上法兰之间的薄壁筒, 作为表面油分子的爬移垒。
低温泵的原理与结构

低温泵的抽气原理主要是利用低温表面抽除真空容器中的气体来获得和保持真空。本文图文详解低温泵的原理与结构。
低温泵测试系统的搭建

低温泵的测试系统原理图如图所示：系统包括低温泵、干泵、测试容器、真空规、气体流量计和阀门等。
CSNS离子泵性能测试

本文详细介绍了离子泵性能测试方法。经过测试的离子泵，安装到加速器上均能正常工作，动态真空满足设计指标。
低温泵在超高真空炉中的应用实例

本文以实例介绍了低温泵在超高真空炉中的应用；重点介绍了低温泵真空系统的设计思路，真空系统的主要配置和注意事项，低温泵的选型计算，并用图示方法详细介绍了低温泵系统的安装、使用和维护等环节。
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本文根据100 MeV 串列加速器升级工程项目实际使用的条件和对抽速的要求，对实验低温冷板抽气装置的低温抽气性能进行了测试。