钛升华泵的工作原理

　　从图3可见，钛升华泵的结构大致可分为三部分：吸气面、热丝(或升华器)和控制器。钛升华泵的工作过程是由控制器通电给升华器(或热丝)，使钛加热到足够高的温度(1100oC)直接升华。升华出来的钛沉积在用水或液氮冷却的表面上，形成新鲜的钛膜层。钛在升化和沉积的过程中，与活性气体结合成稳定的化合物(固相的TiO或TiN)，结果将空间的气体分子抽除了。

　　钛升华泵抽除的气体分子吸附在钛膜上，吸附机理是比较复杂的.通常认为是物理吸附和化学吸附综合作用的结果，以化学吸附为主。

图3：钛升华泵的工作原理

与气体捕集式真空泵相关的文章：

• 气体捕集式真空泵的几种类型
• 分子筛吸附泵的结构及其抽气原理
• 分子筛吸附泵的结构
• 分子筛吸附泵的抽气特性
• 钛升华泵的工作原理
• 钛升华泵的主要几种结构
• 钛升华泵的极限压强与抽速
• 溅射离子泵的结构及其抽气机理
• 溅射离子泵的抽气特性
• 低温泵的抽气原理与分类与结构
• 低温冷凝泵的抽气特性