钛升华泵的主要几种结构
2020-05-06 真空技术网 真空技术网整理
钛升华泵可有三种类型，一种是单体泵，用法兰与被抽容器联接;另一种是升华器放入被抽容器中，被抽容器壁即为吸气面;第三种是与其它泵组合，作成组合泵。无论哪种类型，都必须有吸气面、升华器和控制器三部分。吸气面主要是泵体或各种壳体，控制器属于电控，升华器的种类较多，这里介绍几种升华器的结构。
一、对升华器的要求
能提供所需要的钛升华率;钛升华率易于调节，可连续或间断地供应吸气剂;钛升华器本身出气少或易于去气;要有足够的工作寿命，即要有足够的储钛量。
二、电阻加热式升华器
直接通电加热钛丝。常用两种结构。
1、缠绕钛丝式升华器：将钛丝直接缠绕在钨杆或钽杆上，钨杆或钽杆通电加热到足够高的温度，钛就不断升华出来。
2、钛钼丝式升华器：这种升华器是将钛(85%)与钼(15%)冶炼成合金或将钛直接镀在钼杆上，然后将钛钼丝直接通电加热，使钛不断升华。
三、热传导加热式
它是由导热性能良好的氧化铍陶瓷为芯，内串以铼钨丝制成的加热器。陶瓷芯上先绕一层钼箔，防止钛与氧化铍直接接触起反应，避免钛的加剧消耗。钛带缠绕在钼箔上，它们之间用氧化铪-甘油浆涂敷。
四、辐射加热式升华器
这种升华器从结构上将加热源和升华源分成两部分。利用放在钛球内的螺旋钨丝，由电阻加热作热源，利用辐射加热钛球，使钛不断地升华。
