集成电路制造中低温泵的应用及产品发展现状

本文介绍了国内集成电路制造中进口低温泵产品的技术发展现状，并对比了不同产品的技术特点。阐述了国产低温泵进军集成电路制造业的历程与现状。

低温冷凝泵的抽气特性

本文介绍了低温冷凝泵的理论抽速、低温冷凝泵的实际抽速、低温冷凝泵的极限压强、低温泵的降温时间、低温泵的工作寿命等关于低温泵的抽气特性计算公式。

低温泵的抽气原理与分类与结构

利用低温表面上的吸附剂和打在其上的气体分子发生吸附而达到抽气作用的泵叫低温吸附泵。根据所用吸附剂不同，又可分为三种类型： 非金属吸附剂泵、金属吸附剂泵、气体霜。

低温泵的原理与结构

低温泵的抽气原理主要是利用低温表面抽除真空容器中的气体来获得和保持真空。本文图文详解低温泵的原理与结构。

低温泵测试系统的搭建

低温泵的测试系统原理图如图所示：系统包括低温泵、干泵、测试容器、真空规、气体流量计和阀门等。

低温泵在超高真空炉中的应用实例

本文以实例介绍了低温泵在超高真空炉中的应用； 重点介绍了低温泵真空系统的设计思路，真空系统的主要配置和注意事项，低温泵的选型计算，并用图示方法详细介绍了低温泵系统的安装、使用和维护等环节。

HL-2M内置式低温泵基于DSMC方法的抽速计算

HL-2M内置式低温真空泵的复杂性和重要性要求在设计阶段就的对低温真空泵的抽气性能进行评估，甚至是定量的计算。作为一个复杂的系统，HL-2M内部空间留给大型低温泵的空间是极其有限的；并且从制造和加工的成本考虑，

低温泵的常见几种分类

本文根据低温泵的介质的供应方式将低温泵进行了分类，并简单的描述了其工作原理和工作方式。

大口径低温泵之制冷机R65的研制

介绍了用于大口径低温泵的R65制冷机的结构设计，回热器的设计及材料的选择，以及制冷功率及可靠性测试的试验结果。

大口径低温泵抽速性能研究

本文在总结给出低温泵抽速的理论计算公式基础上，介绍了实际真空系统的构成及低温泵在实际真空系统中抽速的测量方法。

低温泵的工作原理及构造示意图

低温泵的工作原理是利用气体在超低温表面发生物理吸附而达到排气的效果。本文讲述了低温泵的工作原理及构造示意图。

活性炭的预处理对低温泵工作性能的影响

本文将对比研究不同方法处理的活性炭对低温泵工作性能的影响，为高性能的低温泵的研制与生产提供了改进方向。

低温泵的常见的三种类型

按照低温介质的供给方式，低温泵分为流程低温泵、贮槽式低温泵、小型制冷机低温泵。

低温泵快速再生系统研究

本文对一种低温泵的吸附阵结构分析并设计了一种结合自动控制功能的快速再生加热系统，该系统由单片机编程控制，自动化程度高，再生时间短，使用方便，为国内低温泵快速再生环节的发展提供借鉴。

乙烯装置低温泵的选型与操作问题探讨

文章介绍了乙烯装置中的低温泵选型和操作方面应注意的问题，为相关工程人员提供一定的参考。

基于流场数值模拟的磁力驱动冷凝泵入口流动分析

为了提高磁力驱动冷凝泵的抗汽蚀性能，在泵叶轮入口处配置了变螺距诱导轮，并建立了吸入口配置变螺距诱导轮和未配置变螺距诱导轮的两种模型。

基于DCS的EAST内置低温泵监控系统设计

本文主要讲述在EAST 低温控制系统基础上，基于DCS结构设计内置低温泵的监控系统，从而实现低温泵阀箱冷却、运行、回温整个过程的自动监控。

低温吸附泵用椰壳活性炭的性能测试

低温泵液压驱动系统的应用

阐述了低温泵液压驱动系统的设计原理，分析了低温泵液压驱动系统的特点和优势，为低温泵液压驱动系统的推广应用提供技术基础。

300LDTN-200型立式多级筒袋式冷凝泵的研制

通过新设计高汽蚀性能、高效率的首级叶轮和诱导轮的水力模型，创新结构设计了300LDTN-200型立式多级筒袋冷凝泵的吸入装置、轴向力平衡装置和轴封装置的结构。