低温泵测试系统的搭建

　　低温泵的测试系统原理图如图1所示：系统包括低温泵、干泵、测试容器、真空规、气体流量计和阀门等。

　　皮拉尼规、BA规和气体流量计由北京航天计量测试技术研究所计量，硅二极管、PT100以及低温仪表由中国科学院理化技术研究所低温计量中心计量。

　　低温泵的二级冷板和障板上安装了4个硅二极管测温传感器，低温泵的防辐射屏上安装了3个PT100测温传感器，为了简化图表的显示，二级冷板的温度或者防辐射屏和障板的温度均为这些传感器测试值的平均值。

　　测试系统的结构和尺寸严格按照行业标准JB/T11081-2011中流量法测试低温泵性能参数的要求进行搭建，具体对低温泵的抽速、渡越容量及降温时间的测试流程也按照标准的要求进行。

图1  低温泵测试系统