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蒙特卡洛法计算钛升华泵抽气速率的结果与讨论
用蒙特卡洛法计算了HIRFL-CSR 钛升华泵对于不同气体吸附系数在分子流条件下的吸附概率,分析了挡板的形状和设置位置对吸附概率的影响,并得到了对H2抽速的计算与实验数据相接近的结果。
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