气冷式罗茨泵的噪声机理和“缝隙消声”的原理

2009-04-23 许　涛浙江真空设备集团有限公司

气冷式罗茨泵可以直排大气,工作时要承受很大的压差,压缩过程中产生的热量将使罗茨泵、尤其是转子严重发热,为此在泵体进口与出口的中间二侧充入经冷却的气体或大气去直接冷却热态的转子,因此称之为气冷式罗茨泵。

气冷式罗茨泵是利用气体来冷却压缩过程中产生的热量,由于散热均匀,可以在高压差和高压缩比的情况下工作。如果泵所排出的气体比较清洁,则可以利用泵排出的气体经冷却后返回(通过返冷气管)泵内进行冷却,这时泵出口已配置有复合消声器(图1) ,故返冷气不会产生大的噪声。如泵排出的气体含有其它有害物质,返回泵内将对泵的工作产生不利的影响,则必须用清洁的气体或大气通过返冷气管进入泵内进行冷却,这时就会产生进气噪声,由于进气量大、压差大,故噪声也很大,高达100-110dB(A),属于中、高频噪声,且以高频为主,它比较简单,可以很方便的使用阻性消声器(图1中虚线)来消声。

1. 气冷式罗茨泵 2. 冷却器 3. 返冷气管 4. 复合消声器 5. 阻性消声器

图1　气冷式罗茨泵配置图

1、气冷式罗茨泵的噪声机理与消声

气冷式罗茨泵有二种功能:一是可配备前级泵像普通罗茨泵那样在高真空下工作,这时它的噪声就跟普通罗茨泵一样; 二是可以不带前级泵,直接排大气,这是它最大的特点,此时它的排气噪声很高,尤其是泵在极限压力下运转时,它的噪声完全掩盖了其它噪声,高达110-135dB(A),以中频为主,在低频和高频段也都有很高的噪声,是一个宽频带噪声。

气冷式罗茨泵的排气噪声机理可以这样认为,在极限压力工况下运转的罗茨泵,由于泵出口与入口之差存在着较大压差,出口的气体必然要通过转子与转子之间的间隙和转子与泵体之间的间隙,向入口返流,并不断撞击高速运转的转子,产生撞击噪声, 由于这时排出的气体量很少,声波来不及传播出去而形成声波的堆集,声能很快加强形成强噪声,不过这个声波的堆集并不很稳定,边堆集边破坏,所以只能是相对稳定,因此泵的噪声是在一定范围内稳定,有波动,这就是“声波堆集”理论。由于声波的堆集作用,所以气冷式罗茨泵的噪声特别大。

通常高频噪声用阻性消声器完全可以解决,对于低、中频噪声则需用抗性消声器,但扩张型和共振型消声器仅在某一较窄频率范围内有较好消声效果,所以对宽频噪声必须多节串联,这样结构必然复杂,体积膨大,消声效果也并不很好。根据气冷式罗茨泵的工作特点,它在极限压力下工作时,噪声最大,排出的气体量最小,随着泵入口压力的提高,噪声会逐渐降低。对此我们设计了一种缝隙式复合消声器(图2) ,它应用了一种全新概念———称之谓“缝隙消声”,达到了较好的消声效果,消声量达30dB(A)以上。(已申请了专利) 。