制氧/微电子系统用真空泵油的选型
全氟聚醚油，英文简称PFPE。它由碳、氧、氟原子组成，属于耐腐蚀性气体真空泵油分类中的ISO-6743A—1987\DVB、DVD、DVF类油品.该真空泵油碳氢键中的氢原子全部为氟原子取代,由其分子结构特点决定，具有绝佳的热稳定性、化学惰性、不燃性。当受到电子或离子轰击时，不产生聚合物，不与活性气体反应，具有优良的氧化安定性，热稳定性、化学试剂的惰性和不燃性。具有优良的抗臭氧、能够在VF6、F、PH3、AsH3及其它卤素化合物（BF3、BCI、PCI3、TiCI4、SnCI4、 SiCI4）等酸性气体存在的环境中保持稳定。甚至在高温下也有一定的抗腐蚀作用。与常规的真空泵油比较可在长时期内保持优良的性能。
该类真空泵油为无色透明的液体，密度较大(可达1.95g/cm3 ,20℃时) 、粘度指数高、表面张力低、折射率低、倾点低。可用于有制氧系统和有腐蚀气体的半导体系统和强辐射的场合。
国外的品牌如：意大利蒙特迪生Fomblin oil的YL-VAC、YH-VAC；法国阿尔卡特Alcatel 113；英国爱德华公司Krytox 1506、1514、1525；Fomblin 06/6、16/6、25/6；德国Leybold HE-1200、HE-1600、HE-2700；日本真空R-90、R-95油等。国内生产全氟聚醚油目前有重庆一坪，长城石化。
表16.15 全氟聚醚油的典型理化性能指标 (据Fomblin®资料)
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项目 |
质量指标 |
||||
|
YL-VAC |
YH-VAC |
||||
|
06/6 |
14/6 |
25/5 |
18/8 |
25/9 |
|
|
蒸汽压/kPa |
2.5×10-9 |
— |
— |
10.6×10-10 3.0×10-2 |
10.6×10-11 2.7×10-3 |
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运动粘度/(mm2/s) |
58 |
130 |
260 |
190 |
285 |
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密度(20℃)/ g/cm3 |
1.88 |
1.89 |
1.90 |
1.89 |
1.90 |
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倾点/℃ |
-50 |
-40 |
-35 |
-42 |
-35 |
|
粘度指数 |
— |
70 |
110 |
— |
— |
|
斜率 |
— |
0.65 |
0.07 |
— |
— |
|
比热容/[J/(g·℃)] |
1.00 |
1.00 |
1.00 |
1.00 |
1.00 |
|
热导率(20~150℃)/[W/(m·K)] |
(8.8±0.4) |
(8.8±0.4) |
(8.8±0.4) |
(8.8±0.4) |
(8.8±0.4) |
|
粘均相对分子质量 |
1800 |
2450 |
3250 |
2850 |
3400 |
|
蒸发热(1.3KPa，200℃)/(J/g) |
46.05 |
— |
— |
37.68 |
29.31 |
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馏分范围(10%~90%，53Pa)/℃ |
157~186 |
— |
— |
— |
— |
|
沸点(13Pa)/℃ |
155 |
— |
— |
200~230 |
210~240 |
|
挥发度(22h，145.9℃)(%)(质量分数) |
2.6 |
— |
— |
— |
— |
|
表面张力(25℃)/(N/m) |
1.9×10-6 |
2.0×10-2 |
2.0×10-2 |
2.0×10-2 |
2.0×10-2 |
|
折射率(n020) |
1.2928 |
— |
— |
1.2992 |
— |
|
自燃点/℃ |
无 |
无 |
无 |
无 |
无 |
|
闪点/℃ |
无 |
无 |
无 |
无 |
无 |
|
燃点/℃ |
无 |
无 |
无 |
无 |
无 |
|
外观 |
无透明 |
无透明 |
无透明 |
无透明 |
无透明 |
用途:FomblinYL- VAC06/6 (相当于VG22)，主要用于润滑涡轮分子泵轴承FomblinYL -VAC014/6 （相当于VG46）、YL- VAC25/5(相当于VG100)，可用于超净和安全的真空系统，如扫描发射电子显微镜、质普仪、粒子加速器、有腐蚀性气体的微电子真空系统。FomblinYH-VAC 18/8、25/9主要用作扩散泵工作液。
