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多级罗茨泵和湿式罗茨泵的噪声机理与消声原理
多级罗茨泵的工作特点也是极限压力下噪声最大,虽然一般多级罗茨泵的抽速都不大,但由于“声波堆集”作用,泵的噪声仍然较大。湿式罗茨泵也属直排大气罗茨泵,它的噪声机理也与气冷式罗茨泵相似,但因为在泵入口掺入少量
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涡旋真空泵的设计、工艺的技术问题
涡旋真空泵是一种新型的无油直排大气机械泵, 它具有动力传递简单、气体流动损失小、运行平稳、结构简单紧凑、密封性能好、消耗功率小、振动噪声低、可靠性高等优点。本文探讨了它的设计和工艺技术问题。
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涡旋真空泵的工作原理、结构特点及应用领域
涡旋真空泵的工作腔是由一对型线共轭的涡旋盘付啮合安装组成。具有较高的压缩比,在较宽的压力范围内具有稳定的抽速,是分子泵和小型低温泵的前级泵是获得无油真空系统的最佳配置。
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分子束质谱装置及差分抽气系统
分子束质谱装置及差分抽气系统装置主要由气体反应室、三 级涡轮分子泵差分抽气系统和四极质谱仪(QMS) 三部分组成。在气体反应室中,可用加热、放电、激光和粒子束等手段引发各种亚大气压物理-化学过程。
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