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涡旋式无油机械真空泵的结构特点
涡旋式无油机械真空泵是从涡旋式压缩机演变而来的一种新型的干式真空泵。 该泵特点是重量轻、体积小,为卧式结构,可以从大气压力下直接抽到 10-1Pa ,是一种使用范围很宽的粗抽用干式真空泵。
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活塞式无油机械真空泵的结构
活塞式无油真空泵的外形呈扁方形,是由四个阶梯形活塞及四个阶梯形气缸组成。与电机直联的轴通过四根连杆带动四个活塞。活塞的背面空间由次级活塞抽气,以减少泄漏和降低极限压力。每个气缸都有进气阀与排气阀。
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无油干式机械真空泵概述
无油干式机械真空泵 ( 以下简称干式机械泵 ) 是指泵能从大气压力下开始抽气,又能将被抽气体直接排到大气中去,泵腔内无油或其他工作介质,而且泵的极限压力与油封式机械真空泵同等量级或者接近的机械真空泵。
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Edwards发布两款工业应用高性能GXS干式螺杆真空泵
新的GXS450和GXS750干式螺杆真空泵及泵组采用创新的螺杆技术和高效率驱动技术,以提供高泵的抽真空性能,可让用户优化其制程,实现较低的总体拥有成本,并减少占地面积。
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东北大学干式真空泵突破IC制造瓶颈
在东北大学获悉,该校自主研发的干式真空泵达到国际先进水平,对水电能耗分别降低了31.2%和27.6%,污水处理量减少了99.5%,为我国IC制造业快速健康发展扫清了障碍。
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SIHIdry H400 型干式真空泵效益性分析
绍了锦西石化分公司芳烃抽提装置抽真空系统改造的内容,介绍了蒸汽抽真空器及干式真空的原理及特点,通过对二者的比较,干式真空泵自动化程度高、环保等优点得意彰显。
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