涡轮式干泵的原理和排气过程示意图

　　涡轮式干泵是近年来迅速普及的一种新型干泵，由于其性能优越，在真空领域特别是科研用真空设备方面，正在迅速取代传统的油封式旋片泵。其主要优点如下：

　　(1)具有较高的压缩比，在较宽的压强范围内有稳定的抽速；

　　(2)结构简单，可靠性高；

　　(3)工作压强范围宽，功率变化小。

　　涡轮式干泵的基本原理如图1所示，气体在由涡旋转子和涡旋定子组成的月牙压缩腔内被压缩，涡旋定子固定在机架周边上，在涡旋定子的周边上开有吸气口，在涡旋转子和涡旋定子涡旋体中心部开有排气口。涡旋定子和涡旋转子的涡线基本相同，两者相位错开180°，结果在两个涡旋体之间形成了一系列月牙压缩腔。涡旋转子转动时，月牙压缩腔一面向中心移动，其容积一面连续地变小，完成涡轮式干泵的吸气、压缩和排气过程。

图1　涡轮式干泵的原理和排气过程示意图

1—涡旋转子；2—涡旋定子