干泵及其在大半导体领域的应用

干泵及其在大半导体领域的应用

中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司

张振厚

　　摘要：大半导体产业作为我国鼓励、支持发展的新兴产业近几年得到了快速发展。

　　本文介绍了国内外干泵产业的发展及其主要生产厂家、干泵的发展趋势。从大半导体产业概念入手，通过对大半导体产业发展趋势以及真空应用设备的需求分析，介绍了干泵在大半导体产业领域的应用，并对干泵的技术发展提出了个人建议。

　　目前干泵基本上还需要使用知名的进口品牌，否则会惹麻烦的!一般都用 ebara 或 edward 吧

　　我们真心希望能够大量使用国货，但半导体及相关制造业对保证设备运行的可靠性方面要求极高。所用过的机械泵，从噪声方面说，莱宝的泵使用10年后噪声依然如新泵。而国产的泵即使是新的，噪声就较高(我曾经用过一家国内生产的干泵，那噪声和装甲车差不多)。据说主要的原因是他们校正转轴的要求特别高。国产的泵另一个特点是：一经鉴定成型后，较少再投入进行设备的优化和改进性能。一个新产品出来总有这样那样的缺点，这点上大家都可以理解，但不能理解的是为什么没有再改进再优化的过程了。一点浅见：主要是人们不怎么相信国产设备的可靠性。