罗茨泵机组噪声测试原理及测试系统

1、罗茨泵噪声过大的问题及噪声源定位方法

　　气冷式直排大气罗茨真空机组在安装好之后工作的噪声很大。但是究竟是哪一个部位的噪声贡献值较大，且在什么情况下噪声值较大，真空技术网(www.chvacum.com)认为这都是需要解决的问题。故需要对此真空机组进行噪声源定位研究。

　　该真空机组噪声源定位采用声压法并逐级定位的方法。先用声级计测出各测点处的声压值，再根据各测点的声压值的大小以及其在真空机组上对应的相对部位来确定机组各部位对机组噪声贡献大小，并进行排列，找出噪声贡献较大部位，对该部位的各组件再进行声压测试，从而确定噪声值较大部位。

2、噪声测试原理

　　本测试的仪器设备采用手持式精密噪声分析仪，该分析仪具有简单易用、安全可靠、智能化、测量精度高和性能优良等优点。原理框图见图2。

图2 测量原理图

　　真空机组产生的噪声由传声器接收，并将声音信号转化为电信号。电信号经过放大与滤波得到信号大小与成分适当的模拟信号，该模拟信号需要经过A/D 转换才能得到相应的数字信号，并在计算机中用相应的软件进行分析便可得到机组噪声的频谱等。

3、罗茨泵机组噪声测点布置及测试条件

　　测量前，应该按照图1 对机组周围布置测点，共有18 个测点。其中，有十个测点分布在五台泵的两侧，有三个测点分布在进气口处，另有三个测点分布在消声器背面。

　　测试条件为分别在真空度为0.1 Pa、1 Pa、5 Pa、23.7 Pa、94 Pa、1000 Pa、5000 Pa、8000 Pa、11000 Pa、25000 Pa 和80000 Pa 对18 个测点进行噪声测试，测试时手持式分析仪距离机组和地面都为1.5 m。同时，背景噪声为37.6 dB。