常用气镇装置的结构与安装位置
最简单常用的气镇阀结构如图所示。一般均由调节件与逆止阀两部分组成。调节件用来控制掺入的气体量。逆止阀是用来防止泵腔内的混合气体压力高于掺气压力时出现返流。另外一些较常用的气镇阀结构就不列举出来了。
图:旋片式真空泵常用气镇装置结构图
气镇孔的位置的设置一般有两种形式:
a、在泵的排气口附近
当压缩腔与排气口相通时,开始掺气,一直到泵腔内部压力和外界掺气压力相等为止。
b、气镇孔设置在端盖上
掺气开始与终了是受转子的端面控制的。气镇孔越早接通泵腔,掺气时间就越长,掺气量也就可能大一些。但是为防止掺入的气体直接进入被抽容器中,必须在压缩腔与吸气口隔绝时,才能接通气镇孔。所以,端盖上的气镇孔是在吸气终了以后,转子再转过一个角度(10°~15°)时,才开始露出来进行掺气。
对双级旋片式真空泵气镇泵(不论高真空级和低真空级做成等容积或不等容积),气镇孔均设置在低真空级上。
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