油封式旋片泵的结构和抽气过程示意图
油封式旋片泵以油封式为特点,是最基本的真空泵之一,属于低真空泵,工作压强范围是10-2~105Pa。油封式旋片泵可以单独使用,也可以和其他高真空泵联合使用,用来做粗抽或前级泵。粗抽是指从大气压开始的排气过程。前级泵是指用以使另一个泵的前级压力维持在其最高许可的前级压力以下的真空泵。
如图1所示,油封式旋片泵主要由偏心转子、旋转翼和泵体所构成。旋转翼通过弹簧作用,和泵体内壁一直保持接触。电机带动偏心转子转动时,泵体和旋转翼所包围的空间体积不断变化。体积增大时,从吸气口吸气;体积减小时,从排气口排气,从而达到获得真空的目的。
设旋转翼旋转一周的排气体积为V,周期为T(频率f=1/T),则排气速度S的表达式为
S=V/T或 S=fV
f用rpm(每分钟转数)表示,V用L/r(升/转)表示,则S的单位是L/min。如果f=1800rpm,S=100L/min,则理想状态下旋转翼旋转一周的排气体积V=0.056L。
油封式旋片泵操作非常简单,而且能够在大气压下开始工作。但是油封式旋片泵使用的油会挥发,进入真空腔体。为了避免油或其他液体进入真空腔内,不用油的干式真空泵(干泵)正在逐渐成为主要的粗抽用机械泵。
图1 油封式旋片泵的结构和排气过程示意图
1—偏心转子; 2—旋转翼; 3—泵体