立式涡轮分子泵与卧式涡轮分子泵结构比较

　　当前涡轮分子泵的结构有立式v与卧式涡轮分子泵之分。入口的气流与旋转轴平行的涡轮分子泵属于立式的；进入气流垂直于旋转轴中心的涡轮分子泵属于卧式的。这种卧式泵，进入气体对称分为两半，直角转向两侧分别进入两侧相同的转子定子叶栅中，由两侧气流汇集于共同的出口。这两种形式的泵又称单端泵和双端泵。这两种泵市场上均有出售。

卧式涡轮分子泵

　　卧式涡轮分子泵特点是其转子主轴水平布置。这种结构的分子泵是双轴流的，吸气口在两组抽气单元的中央，气体吸入后，分别被左右两侧的叶列组合抽走。轴承分别装在各抽气单元的排气侧，见图 1 。

1.动片 2.定片 3.进气口 4.轴 5.轴承 6.排气口

图1：卧式涡轮分子泵结构示意图

　　卧式涡轮分子泵的特点是抽气时转子受力均匀，轴承定位、受力状态好，使用寿命长，且轴承更换过程中，转子位置不动，维修方便。

立式涡轮分子泵

　　立式涡轮分子泵结构如图 2 所示。

图2：立式涡轮分子泵结构示意图

　　立式涡轮分子泵的转子轴垂直安装，只有一组抽气组合叶列。转子叶轮高速旋转时，被抽气体沿着转子组和定子组自高真空端向低真空端压缩，被驱向前级，由前级泵抽走。泵由泵壳、涡轮叶列组件和电动机等组成。现代涡轮分子泵转子和定子之间的间隙较大，通常在 lmm 左右，因此泵工作时很安全。立式泵的装配工艺要比卧式泵简单，所以立式泵发展很快。

　　轴承润滑方式有油脂润滑、油绳润滑和离心供油润滑等方式。分子泵轴承润滑油的性能必须具备以下三个条件，才能满足泵的工作要求：a. 高速下具备良好的润滑性能；b. 饱和蒸气压低于前级泵工作液的饱和蒸气压；c. 粘度适当，使之兼有轴承冷却液的作用。