扩散泵油的返油过程示意图

2019-10-05 鬼马 真空技术网整理

　　扩散泵的油蒸汽并不完全是放射性地沿泵腔向下运动，由于随机的散射或带方向性的放射，从喷嘴喷出的蒸汽有部分分子也向真空泵泵口方向移动，这样就形成了返流;返流是扩散泵系统的主要污染!

扩散泵油的返油过程示意图

　　因此，为了减少返流，在喷嘴和被抽系统之间通常加上合适的捕集装置;例如：加上水冷的捕集器，可以使返流降低50%，而同时泵的抽速也只是降低10%左右,不幸的是，捕集返流的效率越高，对泵抽速的影响就会越大;例如：一个用水或液氮冷却的几乎可以完全捕集返流的装置，可能会使抽速降低30% !