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油扩散泵抽气速率与被抽气体的关系
通过对油扩散泵抽气速率、气体分子平均热运动速度和分子流态下气体流导的分析, 指出油扩散泵对不同气体的抽气速率具有选择性, 给出了泵对不同气体和空气抽气速率比值的计算值, 同时指出电离规的规管常数与气体种类有
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扩散泵的概念以及常见种类
油扩散泵的工作原理与水蒸汽喷射泵相似,都是靠高速蒸汽射流来携带气体以达到抽气的目的,故有如水蒸汽喷射泵相似的特点。不同点是扩散泵工作在高真空区域,其工作压强范围为10-2~10-6pa。
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