扩散泵抽气系统的维护

　　扩散泵抽气系统的前级泵可用罗茨泵-旋片泵组合，罗茨泵-滑阀泵组合，单独用旋片泵或罗茨泵等几种形式。油扩散泵抽气系统结构简单，操作方便，寿命长，价格便宜，是目前使用范围最广的一种真空获得设备。

　　根据被抽容器的容积可以粗略检查扩散泵机组选用的是否合理，一般可按表1中所示进行粗选。

表1 扩散机械泵真空机组对应被抽容积

　　扩散泵抽气系统可以适当地装备一些传感器，当万一出现操作失误或系统有漏孔、冷却不善及扩散泵泵液不足时，这些传感器可发出信号将系统关掉或使系统处于安全状态。真空系统中的气动阀和电磁阀应能在设备发生故障时立即动作，使系统处于安全状态下。在压缩空气或电源发生故障时，要关闭除粗抽泵的放气阀以外的所有阀门。粗抽泵放气阀则应打开，以防止机械泵油返流进入粗抽管道。在扩散泵冷却水管的出口（而不是入口）处可装一流量计。借助于流量计的信号，系统控制器就可切断扩散泵的电源，并关闭高真空阀和前级管道阀。在扩散泵冷却水管的入口处采用一个水过滤器以防积垢堵塞水管，并可免除过早的检修。可用装在扩散泵泵壳外面的恒温开关和装在锅炉上的热敏开关来检测泵壁和泵油的工作温度，还可以对泵工作液的液面进行监测。热偶规或皮拉尼规控制器上的设定值是在真空室出现漏孔时给出自动控制器信号的，以便由它来关闭高真空阀，并在前级出现过高的前级压力时断开扩散泵电源。许多液氮装置装有低液面报警的传感器，当致冷剂耗尽时关闭高真空阀门。

　　由于扩散泵没有运转部件，故维修较简单。一般泵使用500h后应当换一次新油。换油时则同时进行维修，维修也就是彻底清洗泵芯，泵体，清除油锅上的结垢，用压缩空气吹去冷却水管中的锈。加热器如果是一般的裸式电炉，则用500h后就要更换一次，如果是封闭式加热器则寿命可大大延长，不必定期更换直到用坏再换。

　　扩散泵一般采用KSl～KS3号扩散泵油，正常使用约半年换一次油。为降低返油率可采用274～275号硅油，正常工况下，约使用2～3年换一次油。扩散泵装配与调整正确与否，会直接影响泵的性能。泵装配前各零件要清洗好并保持清洁。装配前零件必须彻底烘干，装配时不应用手直接摸泵芯，泵芯装配必须正确，不得向任何一边偏斜，装配后要测量喷嘴与泵壁之间的间距。加油时要事先在外边测量好油量，不要边倒边看深度，以保证油量符合规定。

　　装配好要测量扩散泵的极限真空度是否达到泵原指标，测量方法按有关国家标准进行，达到泵原真空度指标时才能交付使用。