扩散泵抽气系统常见的故障及其排除措施

　　扩散泵抽气系统常见的故障及其排除措施如下（同时参见表15）：

　　(1) 如果扩散泵抽气系统不漏气，而系统的极限压力却一直达不到预想的结果，则可能是系统设计不合理，有效抽速低；或真空规电极放气和真空规本身受光电流的限制，测不出低压力。

　　(2)如果在长时间使用后，扩散泵或机组的抽气性能逐渐变坏，即极限真空度和抽速降低，而其它情况正常，则主要是扩散泵油逐渐氧化，质量变坏。这时，应更换新扩散泵油。换油步骤为：先把扩散泵卸下，取出泵芯，按要求将泵芯清洗烘干后正确装配并加新油。

　　(3)由于特殊原因，如真空规管炸裂，误开真空容器放气阀或未关闭高真空阀等，使扩散泵内突然漏进大气时，应立即关闭高真空阀门，停止扩散泵加热并强迫油锅冷却。消除故障后，应作抽气试验，并根据其结果判断是否需要更换扩散泵油。

　　(4)扩散泵经拆装接入系统后，如果系统一切均严格按前述操作程序进行抽气的话，则应该能达到泵原极限压力；如果仔细反复调整各喷口间隙，真空度还应有所提高。如果真空度抽不上去，则首先检查该泵所在系统的漏气率是否超过允许值；同时检查扩散泵的加热器是否烧断、供电电压是否正常、泵的冷却是否正常。如果上述方面一切均正常，则可认为是泵芯装配方面的问题，如装歪、喷嘴间隙不对、泵芯在装配前未清洗干净、有机溶剂未烘干、泵油不够或装入了质量不好的泵油及加热功率调整不正确等。

　　(5)如果扩散泵的工作一直正常，而且也不是动了系统而使某处漏气，而使机组的抽气性能突然变坏，则可能是扩散泵电炉丝断了或保险丝断了，应及时检查更换。

　　(6)如果前级泵工作不正常或抽气容量不够，也会使扩散泵工作不正常。

　　(7)环境温度、湿度、冷却水温度等使用条件对扩散泵的抽气性能影响也较大。例如，当环境温度过高（超过35℃）时，扩散泵性能即开始降低。

　　(8)扩散泵加热功率调整得不正确，也可使扩散泵的工作状态不正常。调加热功率时，最好能找到返油率最低点的合适温度。

　　(9)油蒸气返流污染系统，也可使系统得极限压力达不到预期结果，可参照真空技术网前文采取措施加以改进。

表15 油扩散泵抽气系统常见故障及排除方法