前苏联高真空扩散泵统一系列工作的回顾
详细地介绍了前苏联1953年由国家制订的高真空油扩散泵工业产品的统一系列。该系列包括五种规格，在入口压力为1×10-4～1×10-5Torr(1Torr=133Pa，下同)范围内，对空气的抽速为100～8000L/s，用…-1A号泵油获极限压力为(2～5)×10-6Torr。以后又补充一台H-40T大泵抽速为32000L/s。抽速100和500L/s的泵为二级喷咀；抽速为2000、5000和8000L/s的泵为三级喷咀，而32000L/s的大泵出口连接一台‚-3型油增压泵。所有这些泵的最大出口压力不低于0.1Torr，因此前级泵可直接用机械真空泵，不用增压泵即能正常工作。1990年按国际标准口径又研制了新系列产品，性能有所改进。本文对目前我国生产高真空系列扩散泵有一定的参考价值。
由于高真空油扩散泵产品的繁杂，急待统一典型的产品系列，也是发展高真空应用设备工作的继续和必需。
研制的目的是要建立国家的统一系列，即泵的抽速为100～8000L/s。同以前生产的旧型产品相比，要求做到生产成本便宜，操作更为简便。在开始研制统一系列产品之前，以1948～1951年生产的8种高真空扩散泵为基础(即抽速为100～26000L/s的高真空扩散泵)，这些泵的主要性能如表1所示。
但是，这些已生产过的高真空扩散泵，有着致命的缺点，在新设计产品系列时必须加以克服。这些旧泵的主要缺点是：
单个泵相互之间，比特性有明显的差别，其中与某些现代成就不相称(表1)；
表1 高真空扩散泵的主要性能(1948～1951年)
各个泵的结构型式极不统一；
泵的装配和拆卸很复杂(特别是加固用的零件数目多)(见表2)；
表2 主要外形尺寸和扩散泵典型结构的零件数量(不计电加热器)
泵体的冷却系统，采用焊接的蛇形管，利用稀缺的金属锡；
制造泵所用的有色金属材料消耗量大(例如冷却系统)，平均为所用材料成本的75%(见表3)。
表3 扩散泵典型结构的材料重量和成本(不含电加热器按1952年价格计)
原H-5T这个泵的特征是：
与其余同类型的泵相比，它有最好的比特性(见表4)。
表4 ˜ƒH-15、H-4和H-5T扩散泵比特性比较表
在泵内用三级导流管，第三级为喷射级。它可不用增压泵，使泵能照常工作。以前这种喷射器仅在小抽速的扩散泵(˜ƒ-100和˜ƒ-15型泵)上应用。在这个H-5T泵的运行试验表明：在高抽速的大型扩散泵上装置喷射级，实际上是可行的和合理的。减少了制造抽气装置的材料消耗，降低了成本，还降低了操作过程中的电能消耗达50%。
在导流管的下面装有环形分馏装置，加强了油在泵中的分馏过程，缩短了达到极限压力的时间，并且极限压力得到改善(见图1)。
图1 高真空油扩散泵的分馏装置
导流管的固定是利用一个带螺纹的中心拉杆。喷咀间隙尺寸的固定也不用专用的限位器，大大减轻了泵的装配和拆卸过程(图2)。
图2 H-5T泵上喷咀固定的示意图
加固用零件数目少(在同样的扩散泵中，H-4为75件，而H-5T仅为6件)(见表2)。
与同类泵相比，它的外形尺寸小、重量也轻(见表4)。
因此，高真空扩散泵的统一系列，则以原H-5T型扩散泵为新系列的基形。
结论
1953年统一系列研制的五种尺寸的扩散泵，在1×10-5～1×10-4Torr压力范围内，对空气的抽速从100～8000L/s，以后的H-40T泵的抽速为32000L/s。而1990年研制新系列产品五种尺寸，在10-4～3Pa的压力范围内，抽速分别为310，640，2150，5600和15500L/s。
用…-1A泵油时1953的泵的极限压力为(2～4)×10-6Torr，而1990年产品的极限压力为7×10-5 Pa。
对于1953年系列产品的最大出口压力为0.1Torr，而H-40T出口加增压泵故出口压力为0.3Torr，而1990年产品为27Pa。
1953年系产品100，500L/s为双级泵，2000，5000和8000L/s为三级泵，第三级均为喷咀器。
在导流管下部加分馏装置，加速了泵油在泵中的分馏过程。改善了极限压力。
冷却系统由蛇形管改为水套式冷却。
另件数量减少使成本降低。
所有泵的尺寸和重量减少了。
拆装方便，喷咀间隙不用限位器固定。
回顾前苏联新旧系列产品的研制过程，对我们统一产品系列，标准化生产，提高性能和降低成本是可以借鉴的。有不当之处，请批评指出。
