磁流体动密封技术在半导体行业中的应用

　　目前在半导体行业中，包括TFT-LCD、OLED、LOW-E、PVD、CVD、ITO、FPD等工艺，在对真空腔室动力给进中的动密封技术广泛采用是磁流体密封技术，俗称“零”泄漏。磁流体能有效隔绝外界杂质对真空腔室污染和真空腔室内气体的泄漏，对而减少不必要的停机时间。

　　磁性流体：也叫磁流体，磁液。磁性流体是一种新型的功能材料，是以液体形式存在的导磁材料。

　　它是由直径为10纳米量级的导磁固体颗粒均匀分散到基载液中而形成的一种稳定的液体，既具有液体的流动性, 又具有良好的导磁性。根据基载液的不同可分为酯基类、水基类、硅油基类等。

　　磁流体密封原理：磁流体密封技术就是利用磁流体对磁场的良好响应特性而实现的。当把磁流体注入到由高性能的永久磁铁，导磁良好的极靴与旋转轴所构成的磁回路间隙中，在磁场的作用下，磁流体在间隙中形成数个液态的“O”形圈，从而起到密封作用。

磁流体密封示意图

磁流体密封装置剖面示意图

磁流体的特性：

　　1．长寿命：液态“Ο”型圈密封，无固体接触磨损。密封件寿命取决于轴承的使用寿命，可长达十年安全运行寿命，期间不需要维护。

　　2．最佳的扭矩传递：磁流体密封属“液－固”接触式密封，无磨损。它不存在传统密封中，密封件与旋转轴固－固两相界面之间的磨损泄漏问题，100%动力给进传输，无转矩损失。

　　3．“零”泄漏：即使采用氦质谱检测仪检测，在泄漏率为1×10^-12 Pa·m³/s也很难检测。

　　4．高真空度：真空度能保持1×10^-6 Pa。

　　5．适应不同转速工况：适应不同转速的场合，在高转速下密封性依然稳定。

　　6．耐压差性能好：每一级液态“O”形圈耐压差为0.025MPa左右，总体耐压随液态“O”形圈的级数增加而增加。

　　磁流体动密封技术是目前被世界各国广泛公认的“零泄漏”动密封先进技术。