软件变形式真空动密封的结构与优缺点
2014-03-12 王德喜 沈阳工业大学化工装备学院
非金属软件变形真空动密封连接
非金属软件变形真空动密封连接的主要密封物质是真空橡胶管。由于橡胶管放气和不能承受高温，因此，对要求达到1.3×10-4 Pa 以下的压强，或应进行高温烘烤的真空设备，限制使用这种连接。当然，如果采用耐热硅胶，其使用温度范围也可以达到150℃。真空橡胶管所传递的运动形式主要有两种，即直线运动和旋转运动。
在应用非金属柔性元件的动连接密封中，也可以采用橡胶薄板为密封物质。橡胶薄板的外边缘固定在真空容器的外壁上。内边缘则固定在轴的突肩上。圆筒形橡胶薄板可以折叠180°，因此在利用圆筒形橡胶板时，连杆工作行程不超过隔板自由状态部分外径的10%。这种结构常常用在气动真空阀，以及低真空和中真空的阀门中。这种密封装置虽然结构比较简单、成本低廉，但是由于非金属软件的材料为真空橡胶制品，它不但不能承受转矩，也会因放气而影响真空室内真空度的提高，更不能承受高温的烘烤。因此不宜在超高真空动密封中使用。
金属软件变形真空动密封连接
在金属软件变形的真空动密封连接中采用金属波纹管实现向真空中传递直线运动、摆动和旋转运动是比较方便的。其特点是在真空中的从动环节的位移量大、运动速度高、传递的负荷范围也较宽。
利用全金属波纹管制成的动密封装置，不但结构较简单而且在结构中易实现两种或多种形式的传动。此外，由于波纹管是薄壁制成的金属管，并且富有弹性、容易弯曲、伸张和压缩，又能经受高温烘烤，因此，近年来在一些真空设备上得到了一定的应用。
金属波纹管的主要缺点是制造比较复杂，装配不够方便，而且不宜用于传递高速度的运动，波纹管在使用时也应注意，首先压缩要均匀，否则会在管子的圆周上产生局部应力而造成破裂。波纹管只能承受拉、压而不能承受扭转。这就使它的应用范围受到了限制。
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