磁力传动式真空动密封的分类及选择

　　磁力传动真空动密封连接装置可按图6 所示的不同方法进行分类。

　　选择磁力传动真空动密封装置时，主要应从真空设备要求传递运动的方式、真空容器内压强的高低以及容器内从事真空工艺的具体要求等方面加以考虑。如传递旋转运动，压强高于10-5 Pa，磁力驱动介质为气体时，可选用图7 所示的同轴圆筒形磁力传动真空动密封装置，其内磁转子可采用永磁体进行工作。如果条件不变，被抽容器内压强低于10-5 Pa 处于超高真空状态时，则应将图7 中的内磁转子上的永磁体用软磁材料来取代，以避免超高真空下烧烤时温度过高引起内磁转子上永磁体退磁而影响磁力驱动密封装置的性能。

图6 磁力传动真空动密封连接的分类

1.外磁转子； 2.隔离密封套； 3.内磁转子； 4.滚动轴承

图7 同轴圆筒形磁力传动真空动密封装置示意

　　若采用同轴式圆筒形密封隔离套在结构上有困难时，也可采用如图8 所示的平盘式磁力传动真空动密封装置。如果需要选用直线式或复合运动式的密封结构时，可以结合上述各种类型的特点和实际应用的需求选用如图9 所示的组合式(具有复合运动的)磁力传动真空动密封装置。

1.滚动轴承； 2.内磁转子； 3.隔离密封板； 4.外磁转子

图8 平盘式磁力传动真空动密封装置结构示意

1.轴承导轨架； 2.筒状隔离密封套；3. 外滚动轴承；4. 外磁转子；5.内磁转子； 6.转轴；7.法兰；8.样品托

图9 组合式磁力传动真空动密封装置结构示意图

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