真空连接波纹管的类型与特点

　　本文所介绍的波纹管，用在超高真空系统中可实现弯曲、伸缩和偏心作用(图1)，要求波纹管有可靠的密封性能和使用寿命。

图1　成型波纹管的使用形式

　　波纹管通常分为成型波纹管和焊接波纹管两种，用在超高真空系统中的波纹管材质，一般选用SUS316型号不锈钢。

　　制作口径稍微大一点儿的成型波纹管，首先将不锈钢板材卷成筒状，接口处焊接。将圆筒插入波纹管模具中，通过液压完成成型波纹管的制作。

　　在超高真空系统中，连接分子泵和机械泵的波纹管，多采用两端为NW 法兰的成型波纹管。

　　成型波纹管的优点是制作简单、成本低。缺点是伸缩和柔韧性不足。弥补成型波纹管不足的是焊接波纹管。

　　焊接波纹管是将圆环状的不锈钢薄片，内径和外径交替焊接而成的薄壁褶皱软管(图2)。焊接方式为等离子焊，这种波纹管有极大的伸缩性，是超高真空系统的连接和各种运动导入器中不可缺少的部件。合理选择波纹管的自然长度，使用寿命可达数十万次以上。

图2　焊接波纹管的构造