玻璃-金属封接的工艺参数

　　玻璃-金属封接的工艺参数包括温度、时间、氧化膜的厚度及保护气氛的控制。

　　温度是玻璃-金属封接中最关键的参数之一,它根据封接类型及材料选择的不同而不同。封接温度过高,封接件中应力增大(α2t 线出现拐点) ,如图2 为F215 合金与康宁7052#玻璃的线性膨胀图,在A 点,玻璃的膨胀系数线出现拐点,这样将导致封接件质量较差;同时,封接温度过低,封接材料难以进行有效充分的封接。

　　氧化膜的厚度对封接件的透气率、强度等有着至关重要的作用。当氧化膜过薄时,封接时氧化层完全熔于玻璃,造成玻璃与金属基体表面的直接封接, 使封接强度下降; 氧化膜过厚, 造成金属表面残留较厚的氧化膜,封接件易发生漏气现象,影响其气密性。目前,一般采用测量增重的氧化膜的方法去衡量氧化膜厚度(一般为3～7g/ m2 )。如图3为可伐合金氧化膜形成的工艺封接时间。保护气氛对封接也有一定的影响。

结论

　　(1) 匹配封接性能优于压力封接, 但对材料的要求较高,成本高;压力封接的耐压值高, 成本低。

　　(2) 封接工艺参数包括温度、氧化膜厚度、封接时间、保护气氛控制等。

　　(3) 封接材料的选择及相应的工艺参数控制对封接件的性能影响至关重要。