高真空玻璃系统的研究与改进

高真空玻璃系统的研究与改进

马寅光 张涤新 刘苏民

(兰州空间技术物理研究所 兰州 730000)

　　摘要：在真空技术中经常需要设计和制造玻璃真空系统。玻璃真空系统具有其特有的优势，结构简单、过程直观、改造方便、造价低廉、加工时间短。

　　在一些特定条件下是金属系统不可取代的，例如在真空蒸馏活性碱金属的过程中，由于强碱金属对于金属真空系统具有

　　腐蚀作用，导致金属系统在碱金属气氛下不能长时间工作，而玻璃系统可以缓解这种腐蚀，使得系统可以长时间工作在碱金属气氛中而不会降低其真空性能。

　　本文正是基于玻璃真空系统的这种不可替代性，对典型的玻璃高真空系统进行了研究和改进。提出了利用小型钛离子泵和玻璃四级扩散泵联合抽气的方法实现玻璃真空系统的高真空。内容主要包括玻璃真空系统的典型结构、玻璃真空系统的测量、玻璃真空系统的检漏、改进后玻璃真空系统的结构、性能等内容。