典型的真空系统的型式

       用于满足某种工艺要求,能够获得并测量有特定要求真空度的系统称真空系统。一个较完善的真空系统由真空室、所需的真空泵或真空机组、真空测量装置、连接导管、真空阀门、捕集器、及其它真空元件及电气控制系统构成。典型的真空系统如图1及图2所示。

1. 真空室放气阀2. 电离真空规3. 热偶真空规4. 流量调节阀5. 高真空阀6. 扩散泵7. 储气罐8. 热偶规管( 测扩散泵前级压力) 9. 前级真空阀10. 压力传感器11. 预抽阀12. 罗茨真空泵13. 旁通阀14. 电磁放气阀15. 机械真空泵

图1 典型真空系统原理图

1. 真空室2. 电离真空规3. 热偶真空规4. 放气阀5. 高真空阀6. 冷阱7. 扩散泵8. 前级真空阀9. 电磁放气阀10. 机械真空泵11. 预抽阀

图2 典型真空系统原理图

        真空系统按其工作压力进行分类,可分为:1)粗真空系统(工作压力大于1330Pa);2)低中真空系统(工作压力在1330~0.13Pa);3)高真空系统(工作压力在0.13~1.3×10-6Pa);4)超高真空系统(工作压力在1.3×10-6～1.3×10-10Pa) ;5)极高真空系统(工作压力低于1.3×10-10Pa) 。

       按真空系统所要求的清洁程度可分为:1)有油真空系统(真空室有油蒸汽污染);2)无油真空系统(真空室无油蒸汽污染)。