典型的分子泵加钛升华泵组合的真空抽气系统

　　图1 所示为典型的分子泵加钛升华吸气泵的真空抽气系统。该系统各零部件均按超高真空卫生条件进行清洗后组装。涡轮分子泵，钛升华泵的冷却水压力为0.03 MPa，钛升华器可连续调节升华率。系统漏气率＜10^{- 8} Pa·L/s，系统预抽真空为1 Pa，环境工作温度为20～25℃。

1.分子泵　2.冷阱　3.放气阀　4.钛升华泵　5. 电离规　6. 热传导规　7.粗抽阀　8.机械泵　9.前级阀　10.高真空阀

图1 分子泵加钛升华泵真空系统

　　在系统中正确地使用钛升华泵是一个很重要的问题。一般应该随着系统真空度的变化采用不同的钛升华率和工作周期，其目的是节约钛的消耗量，以延长钛升华器的使用寿命。

　　该系统组装好后，如果各部份都不烘烤去气。开动机械泵预抽真空，当真空达到1 Pa 时启动涡轮分子泵。系统最终可达到的真空度为10^{- 5} Pa。如果对系统烘烤去气， 涡轮分子泵烘烤85℃，钛升华泵烘烤350℃，B- A 规管（或冷磁控规管）烘烤350℃，烘烤时系统内抽预真空为1 Pa。经过彻底烘烤除气（～24 h）后，启动涡轮分子泵和钛升华泵一同工作，该系统最终真空度可达到1.5×10^{- 9} Pa。

　　采用涡轮分子泵和钛升华泵组合系统的优点如下：

1.系统的极限真空度有所提高

　　两泵组合使用后系统的极限真空度有所提高，在不烘烤的情况下也可以提高一个数最级以上，而且系统进入高真空的时间短，故特别适用于不允许烘烤而工作周期短的无油真空系统。通过烘烤去气后，该系统最终能达到10^{- 9} Pa的真空度。可以用于极限真空度高的无油真空系统中。另外，分子泵加钛升华泵系统的使用与维护方便，成本低廉。

2.抽速增加

　　该系统对空气、氮气、氢气的抽速都大于该系统两泵单独抽速相加关系。抽速的增加可以解释为气体中的惰性气体被分子泵排走，而且质量越大，排走的几率也越大，这样升华泵内钛膜被惰性气体占去的空位几率少，能充分发挥钛升华泵钛膜的有效吸气作用。钛膜对象氩这样的惰性气体的吸气能力较低，惰性气体主要由分子泵来抽除。只要不用该系统来排除纯惰性气体或含惰性气体多的气体。该合系统的适用性是很强的，对提高真空系统的性能和降低成本是大为有利的。