多功能真空校准装置的主要性能指标

1、极限真空度

　　高真空校准室极限真空度9.3×10^-8 Pa，下游室极限真空度1.1×10^-8 Pa，低真空校准稳压室极限真空度4.2×10^-7 Pa。

2、校准真空室动态真空度稳定性能

　　根据相关国家标准对本装置校准范围内的校准室在进行动态比对校准时的真空度稳定性能进行检测，从133kPa～9.5×10^-5 Pa 范围内选择20 个压力点，每个检测点停留5 分钟，测试结果表明在133kPa～9.5×10^-2 Pa 范围内，稳定度可控制在2%以内， 在9×10^-2 Pa～9.5×10^-5 Pa 范围内，稳定度可控制在1%以内。

3、系统不确定度分析

　　综合考虑GP370 离子规的不确定度指标和校准装置的固有特性，系统装置标准不确定度为4.2%，数据处理引入的不确定度为0.5%，整个装置的合成不确定度为4.3%， 扩展不确定度为8.6%。